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项目详情
*～*英寸硅外延片生产线扩产项目***机械电子扩建*****项目名称：*～*英寸硅外延片生产线扩产项目项目概况：*～*英寸硅外延片生产线扩产项目，建设地点位于******八里台镇**四大道*号，项目性质：扩建，总投资*.*亿元人民币，其中环保投资***万元人民币，占总投资比例为*.**%。计划于****年*月开工建设，****年*月竣工投产。在现有厂区内新增*#设备间为存放三氯氢硅的槽车气站使用场所，新增*#设备间为存放氯化氢的槽车气站使用场所，建设内容主要为：购置安装外延炉及其配套设备设施（尾气处理器、气体纯化系统、气体面板及管道、外延清洗设备、测试仪器（表面颗粒度测试仪、外延电阻率测试仪、几何参数测试仪））等，部分设备利旧，不涉及现有工程改造，新增一条*～*英寸硅外延片生产线，可年产*～*英寸硅外延片***万片。本项目主要建构筑物一览表 序 号 名称 建筑面 积（m*） 建筑 高度 （m） 建筑 结构 用途 备注 * * 号厂房 / **.* 钢混 用于生产硅外延片 依托现 有 *.* 其 中 *F 三氯氢硅 气柜间 ***.** 每层 高 *.**m 三氯氢硅质量比对场所* *.* 氯化氢气 柜间 氯化氢质量比对用场所* *.* 氮气纯化 器间 将原料气纯化提纯 *.* *F ****.** 生产硅外延片，为洁净车 间 *.* *F ****.** 掺杂剂（磷烷和氢气的混 合气、硼烷）使用场所， 尾气净化场所，原材料、 成品及备件储存场所 * 氮气站 ***.** **.** 放置液氮罐场所，实现液 氮气化 * 氢气站 **** **.* 放置氢气鱼雷车场所，提 供氢气供气 * *#设备间 ***.** *.** 为存放三氯 氢硅的槽车 气站使用场 所 三氯氢硅 的存储场 所 ** * *#设备间 ***.** *.** 为存放氯化 氢的槽车气 站使用场所 氯化氢的 存储场所 ** * * 号厂房房间 *# ** *.** 建设危废间，位于 * 号厂 房的西北侧 依托现 有本项目主要内容一览表 类 别 项目名称 现有工程项目内容 本项目 备注 主 体 工 程 * 号厂房 *F 设置三 柜 氯 间 氢 、 硅 氮 气 气 柜 纯 间 化 、 器 氯 间 化氢气 依托现有氮气纯化器间， 新增氮气纯化器，其他依 托现有 依托现有氮气 纯化器间，新 增氮气纯化 器，其余两个 生产房间不变 * 号厂房 *F 万级洁 净区 硅外延间一、硅外延间 二、钟罩清洗间、用于 扩展电阻的测试区、氧 化工序、甩干工序所在 的测试区、物料中转 间、洗衣间 依托现有万级洁净区， 新增外延炉、钟罩清洗、 扩展电阻测试仪等主要 生产设备，氧化、甩干 工序设备利旧 依托现有万 级洁净区，新 增设备 十级洁 净区 最终表面清洗间（外延 清洗间）、其他测试区、 封装打印区（测试区 内）、外延设备操作区 依托现有十级洁净区， 新增 CV 测试仪、红外测 试仪、四探针测试仪、 外延电阻率测试仪、几 何参数测试仪、显微镜、 颗粒度测试仪、封装机、 标签打印机等辅助设备 依托现有十 级洁净区，新 增设备 * 号厂房 *F 设置特气间、尾气处理间等 依托现有厂房，新增尾 气处理设备、新增超纯 氢气纯化器等设备 依托现有厂 房，新增设备辅 助 工 程 办公区 （*F） 设置独立办公区域在 *F 的万级 洁净区域内，用于员工日常办公 等 依托现有 不变 氢气站 设置氢气站，用于暂存氢气 依托现有 不变 氮气站 设置氮气站，用于暂存氮气 依托现有 不变 *#设备间 / **存放三氯氢硅的槽 车气站使用场所 ** *#设备间 / **存放三氯氢硅的槽 车气站使用场所 ** 公 用 工 程供水 生产、生活用自来水均由*政给 水系统提供；生产用纯水，超纯 水均由中国电子科技集团公司 第四十六研究所提供 依托现有 不变 供电 由*政管网供电 依托现有 不变 供热制冷 冬季采暖热源由中国电子科技 集团公司第四十六研究所** 站换热机组提供，供回水温度为 **℃/**℃；夏季制冷冷源由中 国电子科技集团公司第四十六 研究所**站内冷水机组提。 依托现有 不变 储 运 工 程 储存 三氯氢硅暂存于一层气柜间内， 氯化氢暂存于一层气柜间内，磷 烷和氢气的混合气、硼烷和氢气 的混合气暂存于 *#厂房 * 层特 气间，氮气储存于氮气间，氢气 储存于氢气见，氢氟酸、双氧水、 硝酸、盐酸、氨水、汞暂存于 *#厂房 * 层洁净车间内，衬底、 铝箔袋、色带、标签纸、真空油 脂暂存于 *#厂房 * 层车间内。 新增的原辅料量依托现 有厂房进行储存，新增 *#设备间、*#设备间， *#设备间为存放三氯氢 硅的槽车气站使用场 所、*#设备间为存放氯 化氢的槽车气站使用场 所 ** *#设备 间、*#设备 间，其余厂 房建筑面积 及用途均不 变 环 保 工 程 废气 废气污染源主要为①外延沉积 过程产生的氯化氢气体，分别经 外延炉自带的水喷淋式尾气处 理器进行处理，每台水喷淋式尾 气处理器的风量均为 ***m* /h， 本项目新增 ** 台外延炉，配备 ** 个水喷淋式尾气处理器，净 化后通过 ** 根均为 **m 高的排 气筒 P**-P** 排放；②新增特气 柜切换气瓶工序产生的氯化氢 气体，经一套水喷淋式尾气处理 器进行处理，水喷淋式尾气处理 器的风量为 ***m* /h，净化后通 过 * 根 **m 高排气筒 P** 排放； ③本项目钟罩清洗工序、擦拭钟 罩工序产生的氟化物、NO*气体， 外延氧化工序产生的氟化物，尾 气清洗工序产生的氟化物，依托 中国电子科技集团公司第四十六 研究所建设的酸性气体洗涤塔（编号为 AID-***）进行处理，酸性气 体洗涤塔（编号为 AID-***）的处 理能力为 *****m* /h，处理后由一 根 **m 高排气筒 P** 排放；④外 延清洗工序产生的 HCl 气体，依 托中国电子科技集团公司第四 十六研究所建设的酸性气体洗 涤塔（编号为 AID-***）进行处 理，处理效率为 **%，酸性气体 洗涤塔（编号为 AID-***）的处 理能力为 *****m* /h，处理后由 一根 **m 高排气筒 P** 排放； ⑤外延清洗工序产生的 NH*气 体，依托中国电子科技集团公司 第四十六研究所建设的碱性气 体洗涤塔（编号为 AKI-***）进 行处理，处理效率为 **%，碱性 气体洗涤塔（编号为 AID-***） 的处理能力为 *****m* /h，处理 后由一根 **m 高排气筒 P** 排 放。 依托现有的三根排气筒 （P**-P**），新增 ** 个水喷淋式尾气处理 器，新增 ** 根 **m 高 排气筒 P**-P** 新增**个水 喷淋式尾气 处理器，新 增 ** 根 **m 高排气筒 P**-P**，依 托现有的三 根排气筒 （P**-P**）废水 外排废水主要为员工生活污水 及生产废水，其中生产废水包括 水喷淋式尾气处理器废水、钟罩 清洗废水、外延氧化废水、尾气 清洗废水、洗衣废水、纯水以及 超纯水制备产生的排浓水，以上 废水均排入中国电子科技集团公 司第四十六研究所建设的 * 套污 水处理站处理，生活污水经化粪池 静置沉淀，最终均通过中国电子科 技集团公司第四十六研究所的总 排口排至双林污水处理厂，本项目 污水排口依托中国电子科技集团 公司第四十六研究所的总排口，总 排口由中国电子科技集团公司第 四十六研究所负责。 依托现有 不变 噪声 选用低噪声设备、采取减振、隔 声、消声等降噪措施 依托现有 不变 固废 一般工业固废主要包括废包装 材料，不合格衬底片及报废硅外 延片，废包装材料定期交由物资 部门回收利用，不合格衬底片定 期返回厂家，报废硅外延片定期 外售；危险废物主要包括废包装 瓶/废包装桶（氢氟酸、双氧水、 硝酸、盐酸、氨水），废包装管 （真空油脂），废防酸手套，废 活性炭口罩，废防护面罩，废防 酸皮裙，废防护服，废浴花，以 上危险废物均暂存于危险废物暂存间内，定期委托**合佳威 立雅环境服务有限公司进行处 理；生活垃圾由城管委统一清 运。 依托现有危废间，危险 废物的种类未发生变 化，危险废物的数量发 生了变化 不变产品方案一览表 单位：万片/a序号 产品名称 现有工程年产量 本项目年产量扩建后全厂年产量外延层 Si 的厚度** 肖特基器件用硅外延片 ** ** *** **μm 左右* MOS 器件用硅外延片 ** ** ** **-***μm 左右* 三极管器件用硅外延片 ** * ** **-**μm 左右* 小信号器件用硅外延片 ** * ** **-**μm 左右* 快恢复器件用硅外延片 ** ** ** **-**μm 左右合计 *** *** *** /本目主要设备一览表序 号 设备名名称 型号 台/套数 使用工序 设备 位置 现有 本项目 全厂* 外延炉 PE****S * * *外延生长*F* 外延炉 CSD * * * *F* 外延炉 ****D * * * *F* 外延炉 AM * * * *F* 外延炉 SES***A * * * *F* 外延炉 ASM * * * *F* 高频炉 **** 高频 * * *外延炉升温*F* 高频炉 CSD 高频 * * * *F* 高频炉 ****D 高频 * * * *F** 高频炉 SES***A 高频 * * * *F** 钟罩清洗设备 ****D * * * 钟罩清洗*F** CSD * * * *F** 清洗机 / * * * 外延清洗 *F** CDS / * * * *F** 酸洗槽 规格： ****mm****m m * * * / *F** 酸洗槽 * * * *F** 扩展电阻测试仪 SRP**** * * * 过渡区测试*F** 几何参数测试仪 / * * * 电阻率测 试 *F?** CV 测试仪 MCV-***L * * * *F?** SSM*** * * * *F?** 红外测试仪 IS** * * * 厚度测试 *F** Nicolet **** * * * *F** IG** * * * *F** 四探针测试仪 RTS* * * * 电阻率测试*F** 显微镜 MX** * * * 缺陷检验 *F** 强光灯YP-***I * * * 表面检验 *F** YP-***I * * * 表面检验 *F** 甩干机 / * * * 清洗机自带*F** 颗粒度测试仪 KLA**** * * * 表面颗粒测试*F** 封装机 / * * * 片盒包装 *F** 标签打印机 / * * * 打印标签 *F** 超纯氢气纯化器 ZDC-*H-VVXP -A***/*.* * * * 氢气提纯 氢气 站** **-H-VVXP-** * * * * *F 特 气间?** 氮气纯化器 ZDC-*N-OVV- A***/*.* * * * 氮气提纯 *F 纯 化器 间?** **-N-OVV-*** * * *?** 色谱仪 华爱 * * * 测试氢气 中的杂质 含量 *F 纯 化器 间（测 试间）?** 水氧仪 / * * * 测试氢气 中的水含 量和氧含 量?** 水含量分析仪 光能 * * * HCL 中水 含量监测?** 气站 PLC+监控 * * * 控制系统 氢气 站?** 气柜 掺杂气柜 * * * PH*、B*H* 气柜 *F 特 气间** VMB/Bubbler * * * TCS 鼓泡 *F** TCS 压液柜 * * * TCS 气柜 *F** HCL-BSGS * * * HCL 气柜 *F 氯 化氢 间?** 储藏柜 高强 * * ** 外延炉石 英件、基 座存放处 *F?** 温控器 SMC ** * ** 控制 TCS 温度 *F** 中控机 / * * * 监控中控 *F** 水喷淋式尾气处 理器 OCSS-****C * * * 尾气处理 器 *F 尾 气间 ** OCSS-****B * * * ** airgard * * * ** cir ** * ** ** 易能 * * * ** *NR**AV-C * ** ** ** 沅净 * ** ** ** PH*钢瓶柜 / * * * PH*气柜 *F ** PH*混配气柜 PH*/H* GMS * * * 混配气柜 ** TCS 鼓泡器（双 瓶） LG-BU * * * TCS 鼓泡 器 ** TCS 鼓泡器（三 瓶） LG-BU * * * TCS 鼓泡 器 ** HCL VMB（*-*） / * * * 特气柜 ** HCL VMB（*-*） / * * * 特气柜 ** PH* VMB（*-*） / * * * 特气柜 ** PH*VMB（*-*） / * * * 特气柜 ** 空压机 ZR***VSD-*-* * * * 依托中国 电子科技 集团公司 第四十六 研究所建 设的，本 项目进行 使用 * 号 楼 *F ** ZR***VSD-*-* * * * ** 空调机组 B**-L*-HVA- MAU-***a * * * * 号 楼 *F ** B**-L*-HVA- MAU-***b * * * ** B**-L*-HVA- MAU-*** * * * ** 酸性洗涤塔 B**-RF-EVC- AID-*** * * * 依托中国 电子科技 集团公司 第四十六 研究所建 设的，本 项目进行 使用 * 号 楼 *F ** B**-RF-EVC- AID-*** * * * ** 碱性洗涤塔 B**-RF-EVC- AKI-*** *环评机构：世纪鑫海（**）环境科技有限公司单位地址：*****经济技术开发区兴华十一支路建福园*号联系人：王工联系电话：***-********E-mail：***********景观绿化工程 电气安装工程 通风工程 停车场工程 围墙工程 门窗工程 环氧地坪 标识标牌 智能化工程 土石方 消防工程 场地平整 幕墙工程 给排水工程 安防工程 机电安装工程 供配电工程 土建工程 室外景观 防水工程 室外配套工程 防雷工程 楼宇亮化 桩基础 强弱电工程 基坑支护钻床 上板机 贴片机 干燥机 环保设备 除尘设备 输送设备 冲床 输送设备 抛丸机 检测设备 喷码机 挤出机监理服务 方案编制服务 环境影响报告编制服务 地质勘察服务 招标代理服务 安全评估服务 技术咨询服务 审计服务 工程设计服务防水材料 防腐材料 保温材料 地板 瓷砖 混凝土 水泥 钢筋 劳保用品 安全帽 防护帽 防护服 劳保服 劳保鞋 绝缘鞋 劳保手套 工作服业主单位中电晶华（**）半导体材料有限公司*****************八里台镇**四大道*号项目负责人龚先生办公室总经理***********
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施工准备 土地整理 三通一平
