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项目详情
***mm硅晶片扩产项目***机械电子扩建*****项目名称：***mm硅晶片扩产项目项目概况：***mm硅晶片扩产项目，建设地点位于*****工业区新徕路***号内现有厂房内以及***号*#厂房一层东侧部分区域，项目性质：扩建，总投资*****万元，其中环保投资****万元，占投资的*.**%，本次扩建项目主要进行外延硅晶片和SOI硅晶片的生产。扩建前后项目组成一览表 类别 项目 现有项目内容和规模 本项目内容和规模 主体工 程 *** 号 * 幢外延硅 片车间 主体 * 层，局部 * 层建筑，建筑面积 ****.**m*。 ；二层为空 调**机房等。 年 、 清洗等工艺。 依托现有外延硅片车间，在厂房内预留区域新增外延炉、测 试仪等生产及检验设备。 该区域设 * 幢 SOI 硅 片车间 主体 * 层、局部 * 层建筑，建筑面积为 ****.**m*。一层为 SOI 生产车间、供酸室、检测室等，二层待发展区域，目前空置； 局部四层位置为空调系统**机房。 依托 清洗 等工艺。 另 序。 *** 号 * 幢一层东 侧区域 原计划 拟将原来硅 辅助工 程 综合办公 *** 号 * 幢综合办公楼，设有前台、办公室、会议室等 *** 号 * 幢食堂（在建） 依托 实验质检 *** 号 * 幢，测试室使用 CV 测试仪、膜厚仪、颗粒测试仪、几 何参数测试仪等对硅片的阻值量测、表面形状、电阻率、表面 颗粒情况等进行测试。 依托现有实验质检室，新增部分检测设备，不新增质检项目 和检测量。 储运工 程 *** 号 * 幢 危化品 仓库 ***#库 建筑面积 **m*，用于存放氯化氢钢瓶、乙硼烷钢瓶、磷化氢钢 瓶，储量：氯化氢 *×***kg/瓶，乙硼烷 *×*.*kg/瓶、磷化氢 **×*.*kg/瓶 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 ***#库 建筑面积 **m*，用于存放三氯硅烷钢瓶 **×***kg /瓶 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 ***#库 建筑面积 **m*，用于存放使用后的空钢瓶、空桶 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 ***#库 建筑面积 **m*，用于存放硝酸、氢氟酸、盐酸、乙酸 依托，增加异丙醇的存放，其他化学品扩建后增加周转频 次，不增加储存量***#库 建筑面积 **m*，用于存放氨水、抛光液、四甲基氢氧化铵、 KOH、表面活性剂 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 ***#库 建筑面积 **m*，用于存放双氧水 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 *** 号 外延硅 片车间 特气间 建筑面积 **m*，用于存放三氯硅烷、乙硼烷、磷化氢钢瓶；储 量三氯硅烷 *×***kg /瓶、乙硼烷 *×*.*kg /瓶、磷化氢 *×*.*kg / 瓶，三氯硅烷气柜 * 个、磷化氢气柜 * 个、乙硼烷气柜 * 个、二 氯硅烷气柜 * 个 依托，扩建后增加周转频次，不增加气柜及储存量 氢气纯化间 建筑面积 **m*，三氯硅烷 *×***kg /瓶、磷化氢 *×*.*kg/瓶，及 氢气纯化设备 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 氯化氢供应 间 建筑面积 ***m*，用于存放氯化氢钢瓶；储量 **×***kg /瓶 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 中转区 建筑面积 **m*，用于存放硝酸、氢氟酸、盐酸、氨水和双氧水 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 化学品供应 间(CDS) 供应氢氟酸、盐酸、氨水和双氧水 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 *** 号 SOI 硅 片车间 中转区 建筑面积 **m*，用于存放氢氟酸、盐酸、氨水和双氧水、四甲 基氢氧化铵等化学药剂 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 化学品供应 间(CDS)一 层 供应氢氟酸、盐酸、氨水和双氧水 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 抛光液供应 间（一层） 建筑面积 **m*，存放抛光液 ***L** 新增供应间 * 间，建筑面积 **m*，存放抛光液 ***L** 化学品供应 间(CDS)二 层 供应氢氟酸、盐酸、氨水、双氧水、抛光液 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 *** 号 * 幢 * 层 化学品柜 供应氢氟酸和硝酸（在建），存放量各 * 小桶 依托，扩建后增加周转频次，不增加储存量 可燃气体间 建筑面积 特气钢瓶 **m*，分别存放易燃易爆类气体钢瓶、非易燃易爆类 依托，存放磷化氢钢瓶 *×*.*kg /瓶 氢气纯化间 建筑面积**m*，氢气纯化设备 依托 大宗气体 纯化间 建筑面积*m*，氮气纯化器 依托*** 号 * 幢 HCl 间 原为租赁企业仓库，目前已空置 **，建筑面积 ** m*，用于存放氯化氢钢瓶；储量 *×***kg /瓶 TCS 间 原为租赁企业仓库，目前已空置 **，建筑面积 ** m*，用于存放三氯硅烷钢瓶；储量 *****kg/瓶 *** 号 氢气站 占地***m*，共有槽车*辆，最大供气能力***Nm* /h 依托 两个厂 区交界 处 氢气站 / **，占地***m*，存放氢气长管拖车* 辆，最大供气能力 ***Nm* /h *** 号 综合**站 氢氧化钠（废水处理）：共有储罐 * 个（* 个 *m*，* 个 *m*，* 个 *.*m*）；氢氧化钠（纯水处理）：储罐 * 个（* 个 *m*）；氢氧 化钠（废气处理）：储罐 * 个（* 个 *m*）； 盐酸（纯水处理）：共有储罐 * 个，（* 个 *m*， * 个 *.*m*） 硫酸（废水处理）：储罐 * 个（ * 个 *m*）；硫酸（废气处理）： 储罐 * 个（ * 个 *m*） 依托 *** 号 大宗气站 液氧储罐（* 个，*m*）、液氩储罐（* 个，*m*）、液氮储罐（* 个，**m*）以储罐形式分别存储于厂区内氧气站和氩气站（共 **m*）、氮气站（***m*）。 依托 *** 号 * 幢 **站 盐酸（纯水处理）：储罐 * 个，*m*和 *m* 氢氧化钠（纯水处理）：储罐 * 个，*m*和 *m*（在建） 依托 *** 号 * 幢 * 层废气处理机房，氢氧化钠（废气处理）：储罐 * 个 *m* 依托 一般仓 库 原料仓库 *** 号 * 幢，存放衬底硅片、砂轮、抛光布 依托 成品仓库 *** 号 * 幢，成品仓库 依托 公用工 程 给水系统 给水系统园区供水系统提供，厂区内设供水管网 依托 排水系 统 污水排水 *** 号：现有项目废水通过现有 *** 号内的污水站处理后纳入* 政污水管网 新增污水纳入 *** 号厂区现有污水站，可依托 *** 号：项目废水通过 *** 号内的污水站处理后纳入*政污水管 网 新增污水纳入 *** 号厂区现有污水站，可依托 雨水排水 雨污分流，雨水经雨水井收集后纳入*政雨水管网 ***号厂区现有*个雨水排口，*** 号厂区现有* 个雨水排口 依托 压缩空气系统 *** 号：内设 * 台空压机，设计总供气量 ****Nm* /h *** 号：内设 * 台空压机，规格为 **m* /min（在建） 依托真空系统 *** 号：工艺真空系统，真空泵 * 台，流量 ***.*L/s *** 号：工艺真空系统，真空泵 * 台，流量 ***m* /h 依托 制冷系统 *** 号：设置 * 台冷水机组（其中 * 台制冷量 ****kW，* 台 ****kW） ***号：离心式冷冻机组* 台，总冷量****kW；全热回收冷热水 机组* 台，总冷量**** kW（在建） 新增 * 台冷水机组（制冷量 ****kW） 循环冷却水系统 *** 号：设置 * 台冷却塔（其中 * 台 ***t/h，* 台 ***t/h），总循 环水量为 ****t/h ***号：屋顶，* 台循环冷却塔，总循环量为****t/h（在建） 依托 纯水系统 *** 号：纯水制备能力约为 **t/h，产水率 **%，采用“过滤+二 级反渗透+离子交换”工艺 *** 号：纯水制备能力为 ***t/h，产水率 **%，采用“双介质过 滤器+二级 RO+膜脱气+MG 混床+抛光混床+微滤”工艺（在建） 依托 从 *** 号引入纯水用于 *** 号厂区，现有纯水制备能力共计 ***t/h， 本 次 新 增 加 **.*t/h 纯 水 用 量 ， 现 有 项 目 使 用 ***.*t/h，可满足需求。 供电系统 园区电网提供， *** 号 * 幢，设置变电站，供电能力为 ****KVA，用电量约为 **** 万 kWh/a *** 号* 幢**站二层，* 台****kVA 变压器，* 台****kVA 变 压器；*** 号厂区* 幢生产厂房三层* 台****kVA 变压器，* 台 ****kVA变压器（在建） 本次新增 **** 万 kWh/a，供电能力可满足扩建用电需求。 环保工 程 *** 号 废气处理装置 外延车间： SC* 部分废气由清洗机密闭收集后，通过 * 套酸喷淋装置处理后 由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排放； SC* 部分废气、SC* 部分废气由清洗机密闭收集后，通过 * 套酸 碱喷淋装置处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排 放；SC* 部分废气及氢氟酸清洗废气由清洗机密闭收集后，通过 * 套碱喷淋装置处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h） 排放； 测试前清洗废气、外延炉钟罩灯管石英组件清洗废气、尾气 管清洗台由清洗机密闭收集后，通过 * 套碱喷淋装置处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）； 外延生长（非砷化氢掺杂）废气经过各自外延炉室体单独密闭 收集后，经过各外延炉配套的水喷淋装置处理后由对应的 ** 根 **m 高 DA***、DA***-DA***、DA***-DA***、DA***- DA***、DA***-DA***（风量 ****m* /h）排放。外延生长（砷化氢掺杂）废气拟由外延炉室体密闭收集后通过 SDG 干式吸附处理后由 * 根 **m 高 **#、**#排气筒（风量 ****m* /h）排放。（拟建） SOI 车间： SC* 清洗废气、键合/抛光/腐蚀废气由各设备密闭收集后，分 别通过 * 套酸喷淋装置处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排放、* 套酸喷淋装置处理后由 * 根 **m 高 DA*** （风量 *****m* /h）、* 套酸液喷淋装置处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排放； SC* 清洗废气由清洗机密闭收集后，分别通过 * 套碱喷淋装置 处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排放、* 套碱液 喷淋装置处理后由 *根**m高 DA***（风量*****m* /h）排放； 氢氟酸清洗由各清洗机、测试设备密闭收集后，通过 * 套碱液 喷淋装置处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排放 和 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排放；测试废气通过 通风橱收集后，通过 * 套碱液喷淋装置处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排放。 外延车间： SC* 清洗废气由清洗机密闭收集后，依托现有 * 套酸液喷淋装 置 TA*** 处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排 放； SC* 清洗废气由清洗机密闭收集后，依托现有 * 套碱液喷淋装 置 TA*** 处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排 放； 清洗 * 氢氟酸废气由清洗机密闭收集后，依托现有 * 套碱液喷 淋装置 TA***处理后由 *根 **m高 DA***（风量 *****m* /h） 排放； 测试前废气、外延炉钟罩灯管石英组件清洗废气、尾气管清 洗台由清洗机密闭收集后，依托现有 *套碱液喷淋装置 TA*** 处理后由 * 根 **m 高 DA***（风量 *****m* /h）排放； 外延生长（非砷化氢掺杂）废气经过各自外延炉室体单独密 闭收集后，经过各外延炉配套的水喷淋装置处理后由 ***号厂区外延车间屋顶新增的 ** 根 **m 高 DA***~DA***、 DA***~DA***（风量 ****m* /h）排放。 SOI 车间： 外延生长（非砷化氢掺杂）废气经过各自外延炉室体单独密 闭收集后，经过各外延炉配套的水喷淋装置处理后由 ***号厂 区 SOI 车间屋顶新增的 ** 根 **m 高 DA***~DA***（风量 ****m* /h）排放； SC* 清洗废气、键合/抛光/腐蚀废气由各设备密闭收集后，通 过 *套新增的酸液喷淋装置处理后由 *根新增的 **m高 DA*** （风量 *****m* /h）排放； SC* 清洗废气由设备密闭收集后，依托现有 * 套碱液喷淋装置 TA*** 处理后由 * 根 **m高 DA***（风量 *****m* /h）排放； 测试废气由设备密闭收集后，依托现有 * 套碱液喷淋装置 TA*** 处理后由 * 根 **m高 DA***（风量 *****m* /h）排放。*** 号 废气处理装置 DA*** 排气筒（位于 * 幢北侧）：排放 * 幢综合办公楼内的餐饮 油烟废气，设 * 套高效油烟净化器，风量 *****m* /h，排放高度 **m 外延生长（非砷化氢掺杂）废气经过各自外延炉室体单独密 闭收集后，经过各外延炉配套的水喷淋装置处理后由 ***号厂 区 *#厂房屋顶新增的 ** 根 **m 高 DA***~DA**（风量 ****m* /h）* 排放； 外延炉钟罩灯管石英组件清洗废气由清洗机密闭收集后，通 过 *套新增的碱液喷淋装置处理后由 *根新增的 **m高 DA*** （风量 *****m* /h）排放（两根排气筒，一用一备）； 食堂油烟依托现有高效油烟净化器 TA*** 处理后依托现有 DA***（风量 *****m* /h）排气筒排放。 *** 号废水治理 设有 * 座废水处理站，处理工艺为酸碱中和处理，实际处理能 力 ****t/d。生产废水（清洗废水、纯水制备 RO 浓水、纯水制 备再生水、喷淋塔废水、冷却废水等）经废水处理站处理后与 生活污水一并纳管排放 依托，本次新增 ***.***t/d 处理量。 *** 号废水治理 设有 * 座废水处理站，处理工艺为酸碱中和处理，实际处理能力 为 ****t/d，关联企业生产废水（工艺废水、洗涤塔排水）与项 目公用工程纯水制备 RO 浓水、纯水制备再生水、喷淋塔废水、冷却废水等经废水处理站处理后与生活污水一并纳管排放（在 建） 依托，本次新增 ***.**t/d 处理量。固体废 物处置 危废暂存间 位于 *** 号 * 幢外东侧，面积 **m* 依托 废液储罐区 *** 号外延硅片车间地下室罐区 **m*，设有酸性废液收集储罐 * 个（*m*）、碱性废液收集储罐 * 个 *m* *** 号 SOI 硅片车间地下室罐区 **m*，设有酸性废液收集储罐 * 个（*m*）、碱性废液收集储罐 * 个（*m*）和废四甲基氢氧化铵 （TMAH）储罐 * 个（*m*） 依托，*** 号厂区新增 * 个 *m*储罐，存放清洗废气喷淋废液 （酸性）。 *** 号 * 幢 * 层东侧区域新增 * 个废酸吨桶，存放钟罩等组件 清洗废液（酸性）。 一般固废间 位于 *** 号 * 幢外南侧，建筑面积为 **m* 依托 噪声治理 选用低噪声设备、合理布局厂区；高噪声设备设置基础减振； 风机进出风口设置消声器等。 ①在设备选型时选购低噪声先进设备，从源头降低设备噪 声；高噪声设备采取相应的减振降噪措施；②外延生长废气 处理装置设置在厂房内；③废气处理风机设置在风机房，进 出风口设置消声器；④合理布局，设备运行过程中避免设备 空开、空转现象，重视日常维护、保养工作 防渗措施 生产厂房、一般仓库地面采用硬化水泥地坪；危化品仓库涂敷 环氧层；危废暂存间地面采用硬化水泥地坪并设置托盘；地下 室废液罐区四周表面涂敷环氧层并设有围堰；污水处理站污水 池均做了防渗处理；事故池池体采用抗渗混凝土建设。 依托 *** 号厂区喷淋废液罐区和 *** 号废酸吨桶区地面应采用硬化 地坪并设置防渗层，防渗层为至少 *mm 厚**度聚乙烯，或 至少 *mm 厚的其它人工材料，渗透系数≤**-**cm/s。 环境风 险防范 特气储存、 泄漏应急措 施 生产车间、厂房均设置环氧地坪，车间、危化品仓库均设置有 气体泄漏紧急报警装置。 ***号危险化学品仓库***#和***#仓库设有应急排风装置，气体 泄漏启动应急排风，经收集后接入碱喷淋装置经处理后 **m 高 应急排气筒排放；氯化氢供应间钢瓶瓶口区域设置排风，连接 到工艺洗涤塔且房间内设置应急喷淋系统，特气间各气柜均装 有排风，直接连接到工艺洗涤塔。 *** 号 * 幢可燃气体间、毒腐间涉及的气柜均设有排风，连接到 对应的工艺洗涤塔。 依托，*** 号新增的 HCl 间和 TCS 间拟设置应急排风装置， 气体泄漏启动应急排风，经收集后接入工艺洗涤塔。 事故废水收 集防控措施 *、危化品仓库、危险废物暂存间周围设置环形地沟，危废暂存 间设置托盘； *、*** 号厂区 * 个事故应急池，有效容积 ***m*； *、*** 号厂区和*** 号厂区的雨水总排口处设置雨水截止阀。 依托环评机构：**益驰思环境技术有限公司景观绿化工程 电气安装工程 通风工程 停车场工程 围墙工程 门窗工程 环氧地坪 标识标牌 智能化工程 土石方 消防工程 场地平整 幕墙工程 给排水工程 安防工程 机电安装工程 供配电工程 土建工程 室外景观 防水工程 室外配套工程 防雷工程 楼宇亮化 桩基础 强弱电工程 基坑支护钻床 上板机 贴片机 干燥机 环保设备 除尘设备 输送设备 冲床 输送设备 抛丸机 检测设备 喷码机 挤出机监理服务 方案编制服务 环境影响报告编制服务 地质勘察服务 招标代理服务 安全评估服务 技术咨询服务 审计服务 工程设计服务防水材料 防腐材料 保温材料 地板 瓷砖 混凝土 水泥 钢筋 劳保用品 安全帽 防护帽 防护服 劳保服 劳保鞋 绝缘鞋 劳保手套 工作服业主单位**新傲科技股份有限公司***-**************新徕路***号、***号项目负责人王忍办公室职员***********
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施工准备 土地整理 三通一平
